多项选择题

影响显影工艺的因素有（）。

A.曝光度
B.显影液浓度
C.显影方法
D.工序的温度和时间容量

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热门 试题

多项选择题
下列哪些是进行光刻前的预处理的步骤？（）

A.脱水烘烤
B.旋转涂布法涂HMDS
C.气拍涂底法涂HDMS
D.软烘
多项选择题
根据曝光模式，光制机的种类分为（）。

A.接触式曝光
B.接近式曝光
C.扫描式曝光
D.投影式曝光
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