高压汞灯作为紫外光源被使用有常规i线步进光刻机上，那么i线的UV光波长为（）

坚膜烘焙在加热平板上进行，温度控制在（）。

A.100℃～150℃
B.130℃～200℃
C.110～130℃
D.85～120℃

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在显影过程中，对于正性抗蚀剂，显影液的使用要求是（）。

A.显影液可以使用丁酮
B.显影液可以使用甲苯
C.显影液可以使用丙酮
D.显液可以使用甲基异丁基酮和异丙醇的1：1混合液

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