单项选择题

光刻胶对人部分可见光敏感，但对（）光不敏感。

A.黄
B.红
C.紫
D.蓝

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单项选择题
高压汞灯作为紫外光源被使用有常规i线步进光刻机上，那么i线的UV光波长为（）

A.416nm
B.405nm
C.365nm
D.740nm
单项选择题
坚膜烘焙在加热平板上进行，温度控制在（）。

A.100℃～150℃
B.130℃～200℃
C.110～130℃
D.85～120℃
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