单项选择题

环境温度的变化可影响硅片的涂胶均匀性，通常将环境温度设定于（）。

A.20℃
B.23℃
C.25℃
D.28℃

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单项选择题
光刻胶对人部分可见光敏感，但对（）光不敏感。

A.黄
B.红
C.紫
D.蓝
单项选择题
高压汞灯作为紫外光源被使用有常规i线步进光刻机上，那么i线的UV光波长为（）

A.416nm
B.405nm
C.365nm
D.740nm
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