多项选择题

下列哪些是进行光刻前的预处理的步骤？（）

A.脱水烘烤
B.旋转涂布法涂HMDS
C.气拍涂底法涂HDMS
D.软烘

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热门试题

多项选择题

根据曝光模式，光制机的种类分为（）。

A.接触式曝光
B.接近式曝光
C.扫描式曝光
D.投影式曝光

多项选择题

刻蚀的过程中，对刻蚀的要求是（）

A.图形的保真度高
B.选择比越接近1：1越好
C.均匀性好
D.晶圆表面的洁净

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