单项选择题

通常热扩散分为两个大步骤，其中第一个步骤是（）。

A.再分布
B.等表面浓度扩散
C.预淀积
D.等总掺杂剂量扩散

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单项选择题
下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。

A.Na
B.B
C.P
D.As
单项选择题
He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的扩散率大于10－13cm2 s，这些元素称为（）。

A.活跃杂质
B.快速扩散杂质
C.有害杂质
D.扩散杂质
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