在将清洗完的硅片放进扩散炉扩散时，需要将硅片先装入（），然后再装入扩散炉。

通常热扩散分为两个大步骤，其中第一个步骤是（）。

A.再分布
B.等表面浓度扩散
C.预淀积
D.等总掺杂剂量扩散

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下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。

A.Na
B.B
C.P
D.As

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