单项选择题

下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。

A.Na
B.B
C.P
D.As

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单项选择题
He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的扩散率大于10－13cm2 s，这些元素称为（）。

A.活跃杂质
B.快速扩散杂质
C.有害杂质
D.扩散杂质
单项选择题
如果磷在二氧化硅中扩散，对扩散率影响最大的因素是：（）。

A.扩散剂总量
B.压强
C.温度
D.浓度
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