单项选择题

如果磷在二氧化硅中扩散，对扩散率影响最大的因素是：（）。

A.扩散剂总量
B.压强
C.温度
D.浓度

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单项选择题
用电容－电压技术来测量扩散剖面分布是用了（）的原理。

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B.欧姆定律
C.库仑定律
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单项选择题
在确定扩散率的实验中，扩散层电阻的测量可以用（）测量。

A.SIMS技术
B.扩展电阻技术
C.微分电导率技术
D.四探针技术
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