单项选择题
下图为某减薄机的操作盘（局部）示意图，若需要暂停运行中的减薄机应按（）按键。
A.①B.②C.③D.④
A.BondB.SetupC.ConfirmD.Autobond
A.砂轮旋转的速度，一般以每分钟所转圈数表示B.砂轮按旋转轴的方向，向下移动的速度C.晶圆旋转的速度，也就是载台的转速D.晶圆每转一圈去除的硅厚度
