单项选择题
下列情况比较可能会导致晶圆减薄过程中碎片的是()。
A.磨头尺寸不对
B.磨头目数大
C.晶圆正面没有贴膜
D.作业参数设置不良
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单项选择题
下图为某减薄机的操作盘(局部)示意图,若需要暂停运行中的减薄机应按()按键。
A.①
B.②
C.③
D.④
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单项选择题
装片机安装完银浆后,点击()可以确认完成,退回银浆模组。
A.Bond
B.Setup
C.Confirm
D.Autobond
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