多项选择题

在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，它的优点在于（）。

A.CA光刻胶对深紫外光吸收小
B.CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化
C.CA光刻胶在显影液中的可溶性强
D.有较高的光敏度
E.有较高的对比度

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热门试题

单项选择题

在深紫外曝光中，需要使用（）光刻胶。

A.DQN
B.CA
C.ARC
D.PMMA

单项选择题

在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，CA的含义是（）。

A.化学增强
B.化学减弱
C.厚度增加
D.厚度减少

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