单项选择题

在深紫外曝光中,需要使用CA光刻胶,CA的含义是()。

A.化学增强
B.化学减弱
C.厚度增加
D.厚度减少

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多项选择题
关于正胶和负胶的特点,下列说法正确的是()。

A.正胶在显影时不会发生膨胀,因此分辨率高于负胶
B.正胶的感光区域在显影时不溶解,负胶的感光区域在显影时溶解
C.负胶在显影时不会发生膨胀,因此分辨率不会降低
D.正胶的感光区域在显影时易溶解,负胶的感光区域在显影时难溶解
E.负胶在显影时会发生膨胀,导致了分辨率的降低

多项选择题
关于正胶和负胶在显影时的特点,下列说法正确的是()。

A.负胶的感光区域溶解
B.正胶的感光区域溶解
C.负胶的感光区域不溶解
D.正胶的感光区域不溶解
E.负胶的非感光区域溶解

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