单项选择题

利用高温驱动杂质渗透进半导体内，此工序采用的设备是（）

A.扩散炉
B.离子注入机
C.加热平板
D.对流烘箱

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单项选择题
电子束蒸发中有一个特殊的部件是（）

A.电阻丝
B.电子束
C.电子枪
D.石墨
单项选择题
通常钽、钴、镍等难溶金属应用于（）

A.金属连线
B.填充塞
C.焊接层
D.阻挡层
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