单项选择题

通常钽、钴、镍等难溶金属应用于（）

A.金属连线
B.填充塞
C.焊接层
D.阻挡层

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单项选择题
解决金属铝与衬底之间肖特基接触的方法有（）。

A.阻挡金属
B.铝铜合金
C.铝硅合金
D.重掺杂
多项选择题
微电子领域内，下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为（）。

A.台阶仪
B.干涉显微镜
C.光切显微镜
D.扫描电镜
E.椭偏仪
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