单项选择题

旋片泵是利用（）的原理，通过吸气﹑压缩﹑排气的不断循环实现抽气目的。

A.旋转变容
B.动量传输作用
C.扩散
D.低温吸附

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单项选择题
所有溅射镀膜设备使用的电源中（）。

A.只有直流电源
B.包括直流和交流电源
C.没有直流电源
D.直流和交流电源都没有
单项选择题
我们把表面硬度Hv>（）GPa的耐磨沉积层叫硬质膜，Hv>40GPa叫超硬膜。

A.1
B.5
C.10
D.18
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