单项选择题

所有溅射镀膜设备使用的电源中（）。

A.只有直流电源
B.包括直流和交流电源
C.没有直流电源
D.直流和交流电源都没有

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单项选择题
我们把表面硬度Hv>（）GPa的耐磨沉积层叫硬质膜，Hv>40GPa叫超硬膜。

A.1
B.5
C.10
D.18
单项选择题
磁控二极溅射与射频二极溅射相比，具有（）两大特点。

A.低温，高速
B.高温，低速
C.低温，低速
D.高温，高速
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