单项选择题

我们把表面硬度Hv>（）GPa的耐磨沉积层叫硬质膜，Hv>40GPa叫超硬膜。

A.1
B.5
C.10
D.18

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单项选择题
磁控二极溅射与射频二极溅射相比，具有（）两大特点。

A.低温，高速
B.高温，低速
C.低温，低速
D.高温，高速
单项选择题
冷泵的结构分叶片﹑冷凝面﹑（）材料三层，它是利用对气体的低温凝结和低温吸附实现抽气目的。

A.铜
B.活性碳吸附性
C.陶瓷
D.不锈钢
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