单项选择题

扩散泵是靠被加热的（）的高速运动向出口方向碰撞被抽气体，使其被前级泵抽走的。

A.水蒸气分子
B.离子
C.氩气分子
D.油蒸气分子

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单项选择题
有关MFC，下列描述（）是错误的。

A.质流控制器
B.单位爲cc
C.制程气体流量控制
D.单位爲sccm
单项选择题
直流溅射可用于（）工件。

A.金属
B.塑胶
C.陶瓷
D.任何材料
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