单项选择题

Cryo pump（冷冻泵浦）最不容易捕捉之气体分子爲（）。

A.Ar
B.N2
C.H2O
D.He

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单项选择题
扩散泵是靠被加热的（）的高速运动向出口方向碰撞被抽气体，使其被前级泵抽走的。

A.水蒸气分子
B.离子
C.氩气分子
D.油蒸气分子
单项选择题
有关MFC，下列描述（）是错误的。

A.质流控制器
B.单位爲cc
C.制程气体流量控制
D.单位爲sccm
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