单项选择题

四层警示灯号中红色所代表的动作是（）。

A.手动模式
B.自动模式
C.系统异常故障发生
D.粒子清洗及镀膜中

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单项选择题
Cryo pump（冷冻泵浦）最不容易捕捉之气体分子爲（）。

A.Ar
B.N2
C.H2O
D.He
单项选择题
扩散泵是靠被加热的（）的高速运动向出口方向碰撞被抽气体，使其被前级泵抽走的。

A.水蒸气分子
B.离子
C.氩气分子
D.油蒸气分子
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