单项选择题

当需要刻蚀的图形尺寸大于3um时,一般使用()。

A.湿法刻蚀
B.溅射刻蚀
C.等离子体刻蚀
D.反应离子刻蚀

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热门 试题

单项选择题
兼具有各向异性刻蚀的优点,又有可接受的选择比的刻蚀方法是()。

A.湿法刻蚀
B.溅射刻蚀
C.等离子体刻蚀
D.反应离子刻蚀

单项选择题
假设光刻胶的厚度是2000埃,二氧化硅的厚度为4000块,如果要求经过30秒的刻蚀后,厚度变为1400埃,那么这个过程中刻蚀速率是()埃 分钟。

A.5200
B.1200
C.9200
D.8000

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