多项选择题
A.光学曝光 B.离子束曝光 C.接近式曝光 D.电子束曝光 E.投影式曝光
A.热空气对流法 B.真空热平板传导法 C.红外线辐射法 D.射频感应加热法
A.后烘 B.去水烘烤 C.软烤 D.烘烤