多项选择题
A.石英坩埚的几何形状B.石英坩埚在加热器中的相对位置C.熔体上部空间的状况(真空、气氛)D.加在熔体上的电磁场,外力场(转动)
A.N型单晶的掺杂元素蒸发速度常数都较大,径向电阻率受蒸发影响较大B.N型拉晶时的真空度、坩埚和单晶比例影响单晶径向电阻率的均匀性较大C.P型掺杂元素的蒸发速度常数都很小,蒸发作用不显著,对径向电阻率均匀性影响很小D.P型单晶真空度、坩埚和单晶比例影响较小,径向电阻率均匀性好
A.提高单晶生长速度时,K有效增大,可以使单晶的纵向电阻率均匀性变好B.提高单晶生长速度时,K有效减小,可以使单晶的纵向电阻率均匀性变好C.当生长速度无限大时,e-fδ/D趋于零,K有效=1,整个单晶都是均匀的D.当生长速度为零时,K有效中的e-fδ/D项等于1,那么K有效=k0,整个单晶都是均匀的