多项选择题

单晶中径向杂质分布描述正确的是（）

A.N型单晶的掺杂元素蒸发速度常数都较大，径向电阻率受蒸发影响较大
B.N型拉晶时的真空度、坩埚和单晶比例影响单晶径向电阻率的均匀性较大
C.P型掺杂元素的蒸发速度常数都很小，蒸发作用不显著，对径向电阻率均匀性影响很小
D.P型单晶真空度、坩埚和单晶比例影响较小，径向电阻率均匀性好

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热门试题

多项选择题

拉制单晶硅时常用的掺杂元素磷、砷、锑和硼、铝、镓，关于这些杂质的有效分凝系数描述正确的是（）

A.提高单晶生长速度时，K有效增大，可以使单晶的纵向电阻率均匀性变好
B.提高单晶生长速度时，K有效减小，可以使单晶的纵向电阻率均匀性变好
C.当生长速度无限大时，e-fδ/D趋于零，K有效=1，整个单晶都是均匀的
D.当生长速度为零时，K有效中的e-fδ/D项等于1，那么K有效=k0，整个单晶都是均匀的

多项选择题

对有效分凝系数描述正确的是（）

A.当K0>1时，提高单晶生长速度时，K有效增大，可以使单晶的纵向电阻率均匀性变好
B.当K0< 1时，提高单晶生长速度时，K有效增大，可以使单晶的纵向电阻率均匀性变好
C.当生长速度无限大时，e-fδ/D趋于零，K有效=1，整个单晶都是均匀的
D.当生长速度为零时，K有效中的e-fδ/D项等于1，那么K有效=1，整个单晶都是均匀的