多项选择题

碳元素在硅单晶中来源主要有哪些?()

A.多晶硅含碳量一般为1×1016个/cm3至3×1016个/cm3
B.石墨器件和保护气氛(氩气)中残留的氧在高温下进行化学反应生成一氧化碳
C.石墨器件清理不干净导致石墨微粒飘入熔硅中,由于石墨的主要成份为碳,导致晶体中碳原子增多
D.石英坩埚在高温下和石墨反应生成一氧化碳