问答题
简答题 单晶中的杂质析出和杂质条纹对单晶质量危害很大,应尽量消除。生产中消除杂质析出和杂质条纹主要采取以下几种措施。
【参考答案】
一、选择合适的热系统,热场是硅单晶生长的重要部分热场的优劣严重影响硅单晶的生长质量。
二、在保证硅单晶电阻率合适......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
点击查看答案
<上一题
目录
下一题>
热门
试题
问答题
简述缩颈工艺能排除籽晶中原生和新生位错的原理。
点击查看答案
问答题
晶体生长过程中由于受到多因素影响,熔体会产生不稳定的对流—湍流,这种湍流会引起熔体的温度振荡,干扰生长界面的稳定,使晶体产生生长条纹,影响单晶质量。描述减少自然对流的方法。
点击查看答案
相关试题
直拉硅单晶工艺中,经常采用什么措施降低单...