多项选择题
A.单晶中氧含量自然减少，对单晶品质影响很大，所以硅单晶中氧含量越低越好B.氧在单晶中的径向均匀性越低越好C.硅单晶中碳含量对单晶品质有较大影响，所以碳含量越低越好D.硅单晶中碳含量碳含量的径向均匀性越低越好
A.可以降低单晶中的氧含量B.可降低单晶中的碳含量C.可以提高电阻率均匀性D.可以降低纵向电阻率的差异
A.多晶硅含碳量一般为1×1016个/cm3至3×1016个/cm3B.石墨器件和保护气氛（氩气）中残留的氧在高温下进行化学反应生成一氧化碳C.石墨器件清理不干净导致石墨微粒飘入熔硅中，由于石墨的主要成份为碳，导致晶体中碳原子增多D.石英坩埚在高温下和石墨反应生成一氧化碳