填空题
A.单晶中氧含量自然减少,对单晶品质影响很大,所以硅单晶中氧含量越低越好B.氧在单晶中的径向均匀性越低越好C.硅单晶中碳含量对单晶品质有较大影响,所以碳含量越低越好D.硅单晶中碳含量碳含量的径向均匀性越低越好
A.可以降低单晶中的氧含量B.可降低单晶中的碳含量C.可以提高电阻率均匀性D.可以降低纵向电阻率的差异