多项选择题
A.树脂 B.感光剂 C.HMDS D.溶剂 E.PMMA
A.ARC B.HMDS C.正胶 D.负胶
A.涂胶、前烘、曝光、坚膜、显影、去胶 B.涂胶、前烘、坚膜、曝光、显影、去胶 C.涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、去胶 D.前烘、涂胶、曝光、坚膜、显影、去胶