多项选择题

刻蚀的过程中，对刻蚀的要求是（）

A.图形的保真度高
B.选择比越接近1：1越好
C.均匀性好
D.晶圆表面的洁净

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多项选择题
以下属于刻蚀环节质量要求的是（）

A.均匀性好
B.图形保真度高
C.选择比低
D.洁净度高
多项选择题
最常用的砷化镓的湿法刻蚀腐蚀液包括（）

A.硫酸
B.氢氟酸
C.双氧水
D.去离子水
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