多项选择题

下面哪些元素属于半径较小的杂质原子？（）

A.Cu
B.P
C.Ag
D.Au

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多项选择题
鸟嘴效应造成的不良影响有（）。

A.有效栅宽变窄
B.电流减少
C.电容增加
D.电阻增大
多项选择题
消除鸟嘴效应的方法有（）。

A.选择合适的掩蔽膜
B.在氧化前，将窗口处的硅腐蚀掉深度，再进行局部氧化
C.退火
D.高压氧化工艺
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