多项选择题

鸟嘴效应造成的不良影响有()。

A.有效栅宽变窄
B.电流减少
C.电容增加
D.电阻增大

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热门 试题

多项选择题
消除鸟嘴效应的方法有()。

A.选择合适的掩蔽膜
B.在氧化前,将窗口处的硅腐蚀掉深度,再进行局部氧化
C.退火
D.高压氧化工艺

单项选择题
湿氧氧化采用的氧化水温是()。

A.95度
B.90度
C.80度
D.75度

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