单项选择题

离子源腔体中的气体放电形成（）而引出正离子的。

A.等离子体
B.不等离子体
C.正离子体
D.液电流

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多项选择题
离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。

A.砷化氢
B.二硼化氢
C.三氟化硼
D.硅烷
E.氧气
多项选择题
半导体芯片生产中，离子注入主要是用来（）。

A.氧化
B.改变导电类型
C.涂层
D.改变材料性质
E.镀膜
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