简答题 什么是离子注入的沟道效应？消除沟道效应的途径有哪些？

请阐述扩散的局限性。 点击查看答案

实际氧化工艺为什么要采用先干氧、再湿氧、最后再干氧的氧化方法？ 点击查看答案