简答题 试对比分析扩散工艺和离子注入工艺的特征和特点。

【参考答案】

扩散是高温工艺，需要SiO₂这样的耐高温硬掩膜，其扩散形成的结深较深。扩散是各向同性的，因此有较大......

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