简答题 实际氧化工艺为什么要采用先干氧、再湿氧、最后再干氧的氧化方法？

【参考答案】

干氧的氧化速率最慢，但其氧化层质量最好。湿氧的氧化速率快，但其氧化层质量不如干氧工艺。实际氧化工艺多采用干氧-湿氧-干氧......

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