（）称为沟道效应，可以用（）、（）和（）来避免。其中，（）是最常用的方法。

【参考答案】

沿晶体沟道注入离子的射程远大于随机方向注入离子射程的现象；硅片相对注入束偏转5-7°的注入角；表面生长氧化层；硅注入表面......

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