离子注入机的对Si衬底作P型掺杂的源气常用（），N型掺杂的源气常用（）和（）。对GaAs做N型掺杂的源气常用（）

（）称为沟道效应，可以用（）、（）和（）来避免。其中，（）是最常用的方法。 点击查看答案

注入离子的射程主要由（）决定。确定注入离子分布的主要参数是（）及其（）。注入离子分布的一级近似为（）。可写成： 点击查看答案