刻蚀氮化硅薄膜时，可以用加热的磷酸进行刻蚀，此时的温度一般设置在（）

一般情况下，刻蚀完成后需要进行的操作是（）

A.曝光
B.涂胶
C.去胶
D.显影

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最常用的砷化橡的湿法刻蚀腐蚀液包括（）

A.硫酸
B.氢氟酸
C.双氧水
D.去离子水

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