单项选择题
看图判断下列描述是否正确?()
A.是有限源扩散,杂质浓度分布是高斯函数B.是有限源扩散,杂质浓度分布是余误差函数C.是恒定源扩散,杂质浓度分布是余误差函数D.是恒定源扩散,杂质浓度分布是高斯函数
A.湿氧比干氧慢得多B.氧化反应是在Si/SiO2界面发生的C.水汽氧化层比干氧氧化层致密D.升高氧气(或水汽)分压不影响生长速率
A.局部场氧化B.浅槽隔离C.pn结隔离D.混合隔离