多项选择题
CMOSIC通常采取那种隔离方法()
A.局部场氧化
B.浅槽隔离
C.pn结隔离
D.混合隔离
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多项选择题
可以采取哪种方法来提高光刻分辨率()
A.增长光源波长
B.增大分辨率系数
C.减小分辨率系数
D.缩短光源波长
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多项选择题
下列哪个工艺方法应用了等离子体技术()
A.RIE
B.MOCVD
C.溅射
D.LPCVD
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