多项选择题
A.RIEB.MOCVDC.溅射D.LPCVD
A.对温度不太敏感B.对温度非常敏感C.源的气相扩散的影响不大D.源气体分压的影响不大
A.为了避免蒸发分子（或原子）被氧化B.为了降低镀膜中的杂质C.为了减小蒸发分子（或原子）的平均自由程D.为了制备的镀膜表面更平坦