多项选择题

可以采取哪种方法来提高光刻分辨率（）

A.增长光源波长
B.增大分辨率系数
C.减小分辨率系数
D.缩短光源波长

<上一题 目录 下一题>
热门 试题

多项选择题
下列哪个工艺方法应用了等离子体技术（）

A.RIE
B.MOCVD
C.溅射
D.LPCVD
单项选择题
实际VPE工艺温度多在质量传递控制区，此时外延速率（）

A.对温度不太敏感
B.对温度非常敏感
C.源的气相扩散的影响不大
D.源气体分压的影响不大
相关试题