多项选择题

以下是离子注入过程中的主要参数的是（）

A.剂量与束流密度
B.射程与注入能量
C.注入角度
D.晶圆

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多项选择题
下列可能造成离子源沾污的因素是（）

A.离子源是否被沾污
B.真空系统是否漏气
C.原材料是否满足纯度要求
D.光刻胶的碱性元素沾污
多项选择题
离子注入机扫描系统中，采用的扫描方式有（）

A.静电扫描
B.机械扫描
C.混合扫描
D.平行扫描
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