多项选择题

传统的平坦化技术有（）

A.反刻法
B.高温回流法
C.旋涂玻璃法
D.化学机械抛光法

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A.直流溅射
B.射频溅射
C.磁控溅射
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A.阳极短路
B.阳极断路
C.阴极短路
D.阴极断路
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