单项选择题

对人体有一定程度伤害的电源是（）。

A.直流电源
B.射频电源
C.中频电源
D.偏压电源

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单项选择题
在给定时间间隔内，沉积在基片上的材料量除以该时间间隔和基片面积来表征（）值。

A.溅射速率
B.抽气速率
C.沉积速率
D.放气速率
单项选择题
溅射装置中由溅射材料所组成的电极是（）。

A.治具
B.靶材
C.挡板
D.工件
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