单项选择题

在给定时间间隔内，沉积在基片上的材料量除以该时间间隔和基片面积来表征（）值。

A.溅射速率
B.抽气速率
C.沉积速率
D.放气速率

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单项选择题
溅射装置中由溅射材料所组成的电极是（）。

A.治具
B.靶材
C.挡板
D.工件
单项选择题
TiN的顔色是（）。

A.金黄色
B.银白色
C.蓝色
D.灰色
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