多项选择题
A.耐腐蚀性好B.与硅接触可能出现尖楔现象C.抗电迁移性差D.稳定性好
A.图(b)是注入的低能离子B.图(b)是注入的高能离子C.图(a)是注入的低能离子D.图(a)是注入的高能离子
A.单位为m2/sB.有单位C.无单位D.单位为m/s