多项选择题

看图判断，下列哪种描述正确？（）

A.图（b）是注入的低能离子
B.图（b）是注入的高能离子
C.图（a）是注入的低能离子
D.图（a）是注入的高能离子

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多项选择题
扩散系数是表征扩散快慢的参数，它相当于单位浓度梯度时的扩散通量，所以它（）

A.单位为m2/s
B.有单位
C.无单位
D.单位为m/s
多项选择题
‌P在两歩扩散工艺中，第二步再分布的同时又进行了热氧化（kp=10），这会给再分布扩散带来哪些影响？（）

A.P扩散速度加快
B.扩入Si的P总量下降
C.在SiO2/Si界面Si一侧的P耗竭（是指低于SiO2一侧）
D.在SiO2/Si界面Si一侧的P堆积（是指高于SiO2一侧）
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